#17. PEALD 간단 정리
#17. PEALD 간단 정리! PEALD는 "Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition"의 약어로, 원자층 증착 기술의 일종입니다. 이 기술은 나노 공정 분야에서 매우 중요한 역할을 합니다. PEALD는 원자층 증착 기술 중 하나로서, 나노 미터 단위의 매우 얇은 박막을 생성하는 데 사용됩니다. 이 기술은 전자기장과 플라즈마를 이용하여 고체 표면에 반복적으로 원자층을 증착하여 박막을 형성합니다. PEALD의 특징은 높은 핵심 밀도, 균일한 증착, 높은 입자 에너지, 매우 얇은 박막 증착 등입니다. 또한, 이 기술은 저온에서 증착이 가능하여, 고온에서의 증착으로 인한 부식 문제를 해결할 수 있습니다. PEALD는 나노전자공학, 나노반도체, 나노센서, 나노기계 및 나노전자 등 ..
2023. 4. 24.
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